फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया बिल्कुल भी सरल नहीं है। सॉफ्ट बेकिंग के दौरान 2°C का अंतर, पूरे वॉशर में सीडी वेरिएशन का कारण बनता है। हार्ड बेकिंग में असमानता होने से उत्पादन में कमी आ जाती है। थर्मल साइक्लिंग के दौरान कणों का निर्माण होने से लिथोग्राफी प्रक्रिया पूरी होने से पहले ही उत्पादन में कमी आ जाती है। इसलिए ऐसी ऊष्मा आवश्यक है जो पूर्वानुमेय, स्वच्छ एवं तेज़ हो।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम नियर-इन्फ्रारेड (NIR) एमिटर बल्बों का उपयोग करते हैं; इनके कारण थर्मल फील्ड में उच्च स्तर की एकरूपता बनी रहती है, जिससे वेफर का तापमान सक्रिय क्षेत्र में ±0.1°C के भीतर ही रहता है। प्रतिक्रिया बहुत तेज़ होती है – मिलीसेकंड में ही तापमान बढ़ या घट जाता है। इससे हर बेकिंग चक्र में एक ही थर्मल स्थिति बनी रहती है। 5,000+ घंटों तक उत्पादन स्थिर रहता है, एवं सेटपॉइंट पर ल्यूमेन एवं तापमान में 5% से भी कम बदलाव होता है। क्वार्ट्ज एनवेलप एवं इंजीनियर्ड फिलामेंट व्यवस्था के कारण कणों की मात्रा कम रहती है; जो कि क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए आवश्यक है।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में इसका क्या लाभ है?
नियर-इन्फ्रारेड बल्ब, फोटोरेजिस्ट पर सीधे ही ऊष्मा प्रदान करते हैं – चैंबर की दीवारों को गर्म नहीं किया जाता। इससे थर्मल विलंब एवं अतिरिक्त ऊष्मा की समस्याएँ दूर हो जाती हैं। सॉफ्ट बेकिंग के दौरान फोटोरेजिस्ट की सतह समान रहती है, जिससे कोटिंग में एकरूपता बढ़ जाती है। हार्ड बेकिंग में भी कोई असमानता नहीं होती, जिससे दोष कम हो जाते हैं एवं एटिंग प्रक्रिया में सटीकता बढ़ जाती है। इसका परिणाम यह है कि पहली ही बार में उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद प्राप्त होते हैं, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
ध्यान रखने योग्य बातें:
नियर-इन्फ्रारेड एमिटर, लाइन-ऑफ-साइट हीटर हैं। ऑप्टिकल अलाइनमेंट एवं स्टैंडऑफ दूरी को निर्धारित मानकों के अनुसार ही रखना आवश्यक है; अन्यथा एकरूपता खत्म हो जाती है। इंटीग्रेटरों को अपने ट्रैक कंट्रोलर, शटर मेकेनिज्म एवं इंटरलॉक्स के साथ संगतता सुनिश्चित करनी होगी। उचित शील्डिंग एवं थर्मल इंसुलेशन की व्यवस्था आवश्यक है, ताकि बेकिंग स्टेशन के आसपास के मॉड्यूल गर्म न हो जाएँ।