फोटोरेजिस्ट के लिए सबसे अच्छा इन्फ्रारेड लैंप

Wed, 01 Jul 2026 12:32:20 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” ऐसे चरण हैं, जिनमें फोटोरेसिस्ट की विशेषताओं को नियंत्रित किया जाता है। यदि तापमान में दो डिग्री का भी अंतर हो जाए, तो सीडी में विचलन एवं अन्य समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं। ऊष्मा स्रोत को फोटोरेसिस्ट की रासायनिक विशेषताओं के अनुरूप ही होना चाहिए – न तो अतिरिक्त ऊष्मा, न ही कम ऊष्मा। हर बार सही तापीय प्रोफ़ाइल ही आवश्यक है।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं; ऐसे लैंप छोटी तरंगदैर्घ्य वाली ऊर्जा उत्पन्न करते हैं, जो फोटोरेसिस्ट द्वारा अवशोषित की जाती है। वेफरों पर तापमान की समानता ±0.1°C तक ही रहती है, एवं बैच-दर-बैच इसकी सटीकता ±0.5°C तक ही रहती है। क्वार्ट्ज आवरण एवं रिफ्लेक्टरों की संरचना ऐसी है कि कणों का उत्पादन कम हो जाए। यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप ही है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक ऊर्जा-उत्पादन स्थिर रहता है, एवं तीव्रता में 5% से भी कम विचलन होता है।

सटीक तापमान वाला फोटोरेजिस्ट हीटर

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “बेकिंग” चरण कोई विराम नहीं है… बल्कि यह तो एक सीमा है। फोटोरेसिस्ट का व्यवहार तापमान पर निर्भर है; थोड़े ही डिग्री का अंतर भी लाइनों की चौड़ाई में त्रुटियाँ पैदा कर सकता है… ऐसी त्रुटियाँ तब ही पता चलती हैं, जब विद्युत परीक्षण किया जाता है। उच्च-मात्रा में उत्पादन करने वाले संयंत्रों में ऐसी त्रुटियों के कारण उत्पाद बर्बाद हो जाते हैं, और उन्हें फिर से तैयार करना पड़ता है। हमने ऐसे ही उच्च-सटीकता वाले हीटर बनाए हैं… ताकि प्रक्रिया के दौरान तापमान सही सीमा में ही रहे।

फोटोरेजिस्ट on Compact IR Heating Units

फोटोरेजिस्ट के लिए सबसे अच्छा इन्फ्रारेड लैंप

सटीक तापमान वाला फोटोरेजिस्ट हीटर