सेमीकंडक्टर मशीनरी भागों का व्यापार

Wed, 03 Jun 2026 12:16:56 +0800

फैब फ्लोर पर, बेक तापमान में आधा डिग्री का ड्रिफ्ट कोई छोटा अंतर नहीं है। यह एक खोया हुआ वेफर है, फोटोरेसिस्ट की मोटाई जो स्पेसिफिकेशन से बाहर चली जाती है, और एक लाइन स्टॉपेज जो होने ही वाली है। लिथोग्राफी में, थर्मल कंट्रोल कोई विकल्प नहीं है। यह प्रक्रिया का हिस्सा है।

तकनीकी रूप से महत्वपूर्ण क्या है
हम थर्मल मॉड्यूल को वेफर-स्तर की ±0.1°C यूनिफॉर्मिटी के आस-पास डिजाइन करते हैं, क्योंकि यह नंबर सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक को लगातार दोहराने योग्य बनाता है, बैच दर बैच। हैलोजन और NIR हीटर्स तेज़, साफ प्रतिक्रिया देते हैं, और क्वार्ट्ज असेंबलियाँ शुद्धता को आवश्यक स्थान पर बनाए रखती हैं। सिस्टम क्लास 1–100 क्लीनरूम के अनुकूल चलता है, और एग्जॉस्ट पर ज़ीरो पार्टिकल जनरेशन सत्यापित होता है। पावर टूल एनवेलप के अनुरूप होती है, और वोल्टेज तथा कनेक्टर इंटरफेस मानकीकृत हैं ताकि बिना रीवायरिंग के इंटीग्रेशन संभव हो। विश्वसनीयता MTBF में मापी जाती है, मार्केटिंग में नहीं, और थर्मल बजट नियंत्रित होता है ताकि हर बेक पिछली बेक के समान हो।

भाग on Compact IR Heating Units

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