एमईएमएस सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हीटर

Thu, 09 Jul 2026 04:37:10 +0800

MEMS वेफरों को सुखाने हेतु सोने से लेपित परावर्तक हीटरों का उपयोग
हमने ऐसे हीटरों को एक ही कारण से बनाया – ताकि दी गई हर वाट ऊर्जा, वेफर पर ही उपयोग में आ सके। क्योंकि MEMS निर्माण में केवल वस्तुओं को गर्म करना ही पर्याप्त नहीं है; बल्कि ऐसी ऊर्जा आवश्यक है जो सटीक, दोहराव योग्य हो, एवं पूरी तरह नियंत्रण में हो।

ऊर्जा का स्रोत
इस हीटर के केंद्र में एक उच्च-घनत्व वाला हीटिंग तत्व है, जो ध्यान केंद्रित करके ऊष्मा उत्पन्न करता है। हमने पूरी प्रणाली को आपके चेंबर की ऊष्मा-आवश्यकताओं के अनुरूप ही डिज़ाइन किया है; इसलिए तेज गति से काम करने पर भी प्रणाली स्थिर रहती है।
इस प्रणाली में उच्च वोल्टेज का उपयोग किया गया है; इससे कम करंट ही पर्याप्त है। कम करंट के कारण छोटी तारों का उपयोग संभव हो जाता है, वोल्टेज में कमी आती है, एवं कनेक्शन ठंडे ही रहते हैं।
इसलिए इसे सामान्य औद्योगिक तारों के साथ ही इंस्टॉल किया जा सकता है… और फिर भी तेज गति से वेफरों को सुखाने हेतु आवश्यक उच्च तापमान प्राप्त किया जा सकता है। यह तो एक सरल इंजीनियरिंग समझौता है – उच्च वोल्टेज से ऊर्जा बेहतर तरीके से वितरित होती है, लेकिन कंट्रोल पैनल एवं इन्सुलेशन को भी इसके अनुरूप ही होना आवश्यक है।

मेम्स on Compact IR Heating Units

एमईएमएस सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु हीटर