300 मिमी लंबाई वाली लाइनों पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.5°C का तापमान-परिवर्तन केवल ग्राफ पर ही दिखाई नहीं देता; बल्कि यह प्रक्रिया में...

फैब फ्लोर पर, बेक तापमान में आधा डिग्री का ड्रिफ्ट कोई छोटा अंतर नहीं है। यह एक खोया हुआ वेफर है, फोटोरेसिस्ट की मोटाई जो स्पेसिफिकेशन से बाहर चली...