Suhu on Compact IR Heating Units

Sensor suhu untuk alat pemrosesan wafer

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

Mengurangi Emisi Karbon di Pabrik Semikonduktor: Mengapa Pemanasan InfraMerah Efektif
Jika Anda ingin membuat pabrik semikonduktor menjadi “netral karbon”, Anda harus berhenti mengandalkan pemanas jenis resistif yang sudah ketinggalan zaman. Pemanas tersebut sangat boros energi.

Belakangan ini, kami lebih memilih menggunakan lampu pemanas inframerah untuk alat-alat pengolahan wafer. Alasannya sederhana: sinar inframerah langsung mengenai permukaan wafer. Dengan demikian, tidak ada energi yang terbuang untuk memanaskan seluruh ruangan hanya untuk menghangatkan wafer. Ini merupakan cara yang lebih efisien dalam menggunakan energi.

Pemanas fotoresist dengan kontrol suhu yang presisi

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

Pada proses litografi, tahap pemanasan bukanlah masa istirahat, melainkan bagian dari proses produksi yang penting. Perilaku fotoresist dipengaruhi oleh suhu; perubahan suhu sebesar beberapa desimal derajat saja dapat menyebabkan kesalahan pada lebar garis yang dihasilkan, dan kesalahan tersebut baru akan terdeteksi saat dilakukan pengujian listrik. Di pabrik-pabrik dengan kapasitas produksi tinggi, hal ini berarti limbah yang harus dibuang dan proses produksi yang harus diulang. Kami merancang pemanas fotoresist berkualitas tinggi agar suhu tetap berada dalam kisaran yang ditentukan selama proses produksi berlangsung.