Lampada per l essiccazione del catalizzatore per celle a combustibile

Tue, 02 Jun 2026 08:48:33 +0800

Sulla linea di litografia, una soft bake che devia anche di mezzo grado è sufficiente per spostare la curva CD e bruciare un’ora di wafer start. Abbiamo realizzato la lampada per l’asciugatura del catalizzatore delle fuel cell per eliminare questa variabilità dal budget termico. Emana un calore secco rapido nella banda del vicino infrarosso (NIR) che si allinea con l’assorbimento del photoresist, garantendo una rimozione solvente ripetibile senza overshoot.

Aspetti tecnici rilevanti
La lampada opera su una banda NIR stretta per un riscaldamento volumetrico rapido. Ciò significa che la superficie e il volume del photoresist si riscaldano contemporaneamente, riducendo il ritardo termico e il gradiente. L’uniformità a livello wafer si mantiene entro ±0,1°C sul campo di esposizione, mentre la ripetibilità della temperatura rimane stabile ciclo dopo ciclo. L’emettitore è posizionato in un assemblaggio di quarzo progettato per cleanroom Class 1–100, con generazione di particelle nulla verificata in situ. La stabilità della potenza emessa presenta una deriva inferiore al 3% su 5.000 ore, adeguandosi ai ritmi 24/7 delle fabbriche.

Catalizzatore on Compact IR Heating Units

Lampada per l essiccazione del catalizzatore per celle a combustibile