なぜ、金メッキ処理が施されたツインチューブ式IRランプが半導体の硬化工程にとって重要なのか 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準を目指しています。しかし問題は、従来の対流式オーブンは、実質的に巨大なエネルギーの無駄遣いを引き起こすという点です。部品自体を加熱する代わりに、部品の周囲の空気を加熱...

もう、熱量を推測するのはやめましょう。IR制御を本当に効果的に利用しましょう。 「スマートな工場」を目指すなら、まず最初に廃止すべきなのが手動での温度調整です。正直言って、ほとんどの赤外線ヒーターはあまり賢くありません。単に熱を放出するだけです。しかし、実際に何が起こっているかを把握したいのであれ...

クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりでもウェーハの品質が悪化してしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持する必要があるのに、実際には剥がれ落ちたりガスを放出したりしてしまうため、使えません。 だからこそ、私たちは...

ファブ内での熱による問題への対処法 機器の表面に触れただけで手が火傷してしまったことはありませんか？それが、通常の赤外線ヒーターが持つ問題点です。これらのヒーターはエネルギーをあちこちに放散してしまうのです。 狭い半導体製造場では、これは大きな問題です。もし機械の筐体がスペースヒーターのように機能...

もうオーブンを待つのはやめましょう。なぜIR加熱が半導体加工に適しているのか もし今でも強制送風を使って半導体の深層加工を行っているのであれば、実質的に毎日「時間の代償」を支払っていることになります。 強制送風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気がウェーハを温めることを期待しま...

もう、バスルーム用のヒーターを捨てるのはやめましょう。 正直に言って、バスルームという環境は電子機器にとって過酷な場所です。蒸気や湿気、時々飛び散る水滴のせいで、ほとんどのヒーターはまるで時限爆弾のような状態です。 最悪なのは、これらのヒーターが一体型で作られていることです。そのため、5年経ってヒ...

化学的な清掃に赤外線を利用する際に、安全を守るための対策 半導体の清掃ラインを運用している人なら、その危険性はよくわかるでしょう。実際、化学薬品の蒸気は、火花が発生した場合、非常に危険です。そんな環境に加熱素子を投入すれば、大惨事につながります。 爆発を防ぐために、私たちは金コーティングされた赤外...

熱の無駄遣いを止めよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 従来の赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。半導体製造装置内で作業する際、これは大きな問題です。高価な装置を使っているにもかかわらず、エネルギーの大部分がウェーハに届くどころか、装置の内壁に当たってしまいます。そ...

バスルームに設置する赤外線ヒーターを危険なものにしないために 赤外線ランプをバスルームに設置するのは、ある意味、バランスを取る必要があります。一方には高いワット数の電力があり、もう一方には蒸気や水しぶきが満ちています。断熱処理が適切でなければ、短絡が起こり、それは誰も望まない最悪の事態です。 適切...

目を傷つけずにバスルームを適切な温度にする方法 誰も、熱いシャワーから出てきてすぐに寒いバスルームに入るのは好きではありません。しかし、ヒーターをつけた瞬間にまるでスタジアムの照明が目に直撃するような感覚になるのは最悪です。 私たちがこの赤外線ヒーターを作る際の目標は単純です。眩しい光を避けつつ、...

ヒーターのケースを安全に保つために（そして、機器が正常に動き続けるために） 私たちが製造するステンレス製のヒーターのケースは、高温に耐えられるように設計されています。しかし実際には、私たちを悩ませるのは熱そのものではありません。問題は漏電です。 産業分野において、絶縁体にわずかな隙間があっただけで...

更衣室を暖かく保つ方法（電気的なトラブルなしで） 正直に言うと、プールやシャワーから出てきて、極寒の更衣室に入るのは最悪の経験です。本当に辛いですよね。しかし、そのような場所を温めようとすると、蒸気や水しぶき、高湿度といった問題が発生します。こうした環境では、電気機器が故障したり、最悪の場合は危険...

化学物質が存在する場所で、ランプが爆発を引き起こさないようにするにはどうすればよいのでしょうか？ 正直に言えば、爆発性のある化学溶剤が満ちた部屋に赤外線加熱ランプを置くのは、災害を招く行為です。裸の加熱要素というのは、まるでガソリンスタンドで火をつけているようなものです。それは絶対に避けなければな...

クリーンルームでの空気を温めるためのエネルギーの無駄遣いをやめましょう。 半導体製造用のクリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェハーを一定の温度に保ちつつ、それを移動させるというのは、常に熱損失と戦っているようなものです。 ほとんどの人は対流式のヒーターを使用して...

マシンを加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 一般的な赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位にエネルギーが散らばってしまいます。半導体製造装置の狭いスペースで作業する場合、これは大きな問題です。 その熱の多くは、ウェーハには全く当たらず、装置の内側の壁に...