http://ir-heat-unit.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%82%BE%E3%83%B3/ Recent content in オゾン on Compact IR Heating Units Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 06:52:01 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 06:52:01 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="オゾンフリー赤外線ランプ"></p> <p>ファブ内では、ソフトベイクとハードベイクの工程で、ウェーハの形状が決定されます。わずか1℃の誤差が生じたり、ホットスポットがウェーハ上を移動したりすると、ウェーハの寸法精度が<a href="https://o-yate.com">悪化</a>します。ウェーハがエッチングチャンバーに入る前から、歩留まりが低下してしまいます。</p>