http://ir-heat-unit.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Compact IR Heating Units Hugo ja Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>ファブ内での炭素排出を削減するために：なぜ赤外線加熱が有効なのか<br> <a href="https://goldisgood.com">半導体製造</a>工場をカーボンニュートラルにしようとするなら、もはや従来の抵抗式ヒーターに頼ることはできません。それらはあまりにもエネルギーを無駄にしてしまいます。</p> <p>最近では、ウェーハ処理用の装置に赤外線加熱ランプを使用しています。その理由は簡単です。赤外線は直接ウェーハ表面に当たるからです。ウェーハを温めるために全体のチャンバーを温める必要がないのです。これはずっと効率的なエネルギー利用方法です。</p> http://ir-heat-unit.com/ja/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="高精度温度制御型フォトレジストヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、焼成工程は単なる停止時間ではなく、むしろ許容範囲の境界となります。フォトレジストの挙動は温度によって決まり、わずか数十分の一度の温度変動でも、電気的なテストを行うまで気づかないほどの線幅の誤差が生じることがあります。大量生産の工場では、これはすぐにスクラップや再処理が必要になります。私たちは、プロセスの範囲内で温度を維持するために、高精度な温度制御機能を備えたヒーターを開発しました。</p>