http://ir-heat-unit.com/ja/tags/%E7%B2%BE%E5%BA%A6/ Recent content in 精度 on Compact IR Heating Units Hugo ja Wed, 22 Jul 2026 04:22:46 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Wed, 22 Jul 2026 04:22:46 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <p>ウェーハが加熱されるのを待つ時間を無駄にしないでください。<br> 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その「待つ」という苦痛をよく知っているでしょう。<br> 深層加工において最も時間を食うのは、実際の処理自体ではなく、装置の<a href="https://o-yate.com">温度</a>上昇や冷却の過程です。従来の強制送風方式では、単に熱い空気を部屋中に送り込むだけで、ウェーハが十分な熱を受けて処理が進むのを待つしかありません。これは非常に遅く、生産効率も低下します。</p> http://ir-heat-unit.com/ja/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="高精度温度制御型フォトレジストヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、焼成工程は単なる停止時間ではなく、むしろ許容範囲の境界となります。フォトレジストの挙動は温度によって決まり、わずか数十分の一度の温度変動でも、電気的なテストを行うまで気づかないほどの線幅の誤差が生じることがあります。大量生産の工場では、これはすぐにスクラップや再処理が必要になります。私たちは、プロセスの範囲内で温度を維持するために、高精度な温度制御機能を備えたヒーターを開発しました。</p>