http://ir-heat-unit.com/ja/tags/%E8%A7%A6%E5%AA%92/ Recent content in 触媒 on Compact IR Heating Units Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 08:48:33 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 08:48:33 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="燃料電池触媒乾燥ランプ"></p> <p>リソグラフィラインにおいて、ソフトベークでたった0.5度のずれがあればCDカーブが変動し、ウェハスタートの時間を1時間消費することになる。そこで、熱予算の変動を排除するために燃料電池用触媒乾燥ランプを開発した。このランプは、フォトレジストの吸収帯に合致する近赤外線（NIR）帯域で高速かつ乾燥熱を照射するため、過剰加熱なく溶剤除去が<a href="https://henruite.com">再現可能</a>となる。</p>