http://ir-heat-unit.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Compact IR Heating Units Hugo ja Thu, 09 Jul 2026 04:37:10 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 09 Jul 2026 04:37:10 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>MEMSウェーハの乾燥における電気出力の最大化――金メッキされた反射ヒーターの活用<br> このヒーターを開発した理由は、投入されるすべての電力がウェーハ上で効果的に熱エネルギーとして利用されるようにするためです。MEMSの製造においては、単に温度を上げるだけでは不十分です。正確で再現性のある熱を供給し、完全に制御することが重要です。</p>