http://ir-heat-unit.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Compact IR Heating Units Hugo ja Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800 http://ir-heat-unit.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>ファブ内での炭素排出を削減するために：なぜ赤外線加熱が有効なのか<br> <a href="https://goldisgood.com">半導体製造</a>工場をカーボンニュートラルにしようとするなら、もはや従来の抵抗式ヒーターに頼ることはできません。それらはあまりにもエネルギーを無駄にしてしまいます。</p> <p>最近では、ウェーハ処理用の装置に赤外線加熱ランプを使用しています。その理由は簡単です。赤外線は直接ウェーハ表面に当たるからです。ウェーハを温めるために全体のチャンバーを温める必要がないのです。これはずっと効率的なエネルギー利用方法です。</p>