마이크로 LED 웨이퍼 건조 히터

Tue, 02 Jun 2026 05:59:29 +0800

Out on the line, the Micro LED wafer comes out of cleaning and just sits there. Any moisture left on the surface is a straight invitation to pattern collapse when the photoresist hits, and a single streak can carry straight through lithography and etch—yield gone. The dryer has to strip that film without beating up the stack.
What we focused on under the hood
우리는 이 웨이퍼 건조 히터를 엄격한 열 제어를 중심으로 설계했습니다. 활성 영역 전체에서 웨이퍼 레벨 균일도는 ±0.1°C 이내로 유지되어, 소프트 베이크 및 하드 베이크 중 포토레지스트 온도가 레시피 허용 범위 내에 머물게 합니다. 단파장 적외선 소자는 빠르고 반복 가능한 온도 상승을 제공하여 열 예산은 줄이면서도 폴리머의 무결성을 유지합니다.
클린룸 호환 등급은 Class 1–100까지 충족하며, 저방출 가스 재료와 입자를 유입하지 않는 공기 흐름 경로를 사용합니다. 측정 한계 내에서 입자 발생이 전혀 없음을 검증하며, 시스템은 24시간 7일 연속 운전을 목표로 하여 비계획 정지 시간을 최소화하도록 설계되었습니다.
Why this matters in Micro LED
Micro LED 제조 공정에서 건조기는 세정, 코팅, 패턴 전사가 만나는 지점에 위치합니다. 일관된 건조는 포토레지스트 도포 전 표면 에너지를 안정화시켜 엣지 비드 현상을 줄이고 임계 치수 제어를 향상시킵니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 동안 온도 정밀도는 접착력과 식각 선택성을 개선하여 식각 전선이 수직을 유지하고 잔류물이 없도록 합니다.
이로 인해 재작업이 줄고 공정 허용 범위가 좁아지며, 계획 가능한 사이클 타임이 확보됩니다. 또한 체류 시간이 짧고 열 전달 효율이 높아 에너지 사용량이 감소하여 운영 비용 절감 효과가 있습니다.
A few practical details you’ll want lined up
설치 시에는 포토레지스트 라인의 용제 특성에 맞춰 배기 경로와 배기 가스 처리를 일치시켜야 합니다. 환기가 맞지 않으면 챔버 내 역류가 발생해 웨이퍼 오염을 초래할 수 있습니다.
히터는 표준 150 mm 및 200 mm 웨이퍼 캐리어에 맞게 설계되었지만, 캐리어를 변경할 경우 공기 흐름과 온도 분포를 확인하는 짧은 검증 절차를 수행해야 합니다. 또한 SPC 목표에 부합하는 교정 주기를 설정해야 하며, 반복성은 우연히 발생하지 않습니다.

마이크로 on Compact IR Heating Units

마이크로 LED 웨이퍼 건조 히터