센서 on Compact IR Heating Units

웨이퍼용 고정밀 IR 센서

Wed, 22 Jul 2026 04:22:46 +0800

와이퍼가 가열될 때까지 기다리는 데 시간을 낭비하지 마세요.
반도체 공장에서 일해본 사람이라면 ‘기다림’이 얼마나 짜증나는 일인지 잘 알고 있을 것입니다.
심층 처리 과정에서 가장 큰 문제는 과정 자체가 아니라, 가열 및 냉각 과정입니다. 전통적인 강제 공기 순환 방식은 너무 느립니다. 결국 뜨거운 공기를 방 안에 불어넣어 와이퍼가 그 열을 충분히 받아서 작업을 할 수 있기를 바라는 것입니다. 이 방식은 매우 느리며, 생산 속도를 저하시킵니다.

스마트 센서 포장 적외선

Tue, 21 Jul 2026 09:39:43 +0800

불안정한 환경에서 IR 램프를 사용할 때의 걱정은 그만두세요.
솔직히 말해서, 화학적 세척이 이루어지는 곳에 적외선 램프를 사용하는 것은 매우 위험한 일입니다. 가연성 용매나 폭발성 기체가 있는 곳에서는 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 작은 스파크나 램프의 손상만으로도 큰 화재가 발생할 수 있습니다.
그래서 우리는 일반적인 램프 대신 스마트 센서가 내장된 램프를 사용하기로 결정했습니다. 이 방법이 훨씬 더 안전합니다.

수소 센서 제작용 히터

Sun, 19 Jul 2026 15:43:02 +0800

히터가 수소 센서를 망치는 것을 막으세요.
만약 클래스 100급 청정실에서 작업해본 적이 있다면, 그곳의 환경이 어떤지 잘 알 것입니다. 그곳에서는 보이지 않는 오염 요소들과 끊임없이 싸워야 합니다.
진짜 문제는 바로 가스 방출입니다.
대부분의 일반적인 가열 요소들은 사실상 오염원입니다. 열이 발생하면 미세한 입자들이 방출되거나 휘발성 유기 화합물(VOCs)이 누출됩니다. 이런 상황이 발생하면 센서의 감도가 현저히 떨어집니다. 이는 매우 당황스러운 일이며, 비용도 많이 듭니다.
그래서 우리는 고순도 석영 IR 램프를 사용하기로 했습니다.
왜 석영일까요?
융합된 규소는 열이 가해져도 부서지거나 조각나지 않습니다. 금속으로 된 가열 요소들과 달리 석영은 반응하지 않고 조용히 있습니다. 열은 복사 형태로 전달되므로, 램프에서 센서로 아무것도 옮겨가지 않습니다. 이렇게 하면 센서가 깨끗하게 유지됩니다.
하지만 중요한 것은 재료 자체뿐만 아니라, 열이 어떻게 목표물에 도달하는지도 중요합니다.
우리는 필라멘트의 형태와 가스 충전 방식을 조절하여, 도핑이나 경화 과정에 필요한 정확한 열 밀도를 만들어냅니다. 단파장 IR을 사용함으로써, 표면만 타는 것이 아니라 에너지가 재료 속으로 스며듭니다.
그 결과, 온도를 훨씬 빠르게 올릴 수 있습니다. 이를 통해 시간을 절약할 수 있으며, 나머지 공정에서의 열 관리도 원활해집니다.
작업 과정에 적용하기
이 램프들은 진공 챔버나 용광로에 바로 설치될 수 있도록 설계되었습니다. 복잡한 절차가 필요 없습니다.
또한, 조립 과정에서 사용된 모든 접착제와 저품질 플라스틱도 제거했습니다. 처음 몇 번 사용할 때 램프가 스스로 오염물질을 제거하는 과정이 있습니다. 하지만 우리는 그런 문제를 해결했습니다.
다만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 이 램프들은 엄청난 양의 복사열을 방출합니다. 만약 하우징이 그 열을 견디지 못한다면, 주변의 전자 장비가 손상될 수 있습니다.
고왁트의 램프를 사용하기 전에, 먼저 공기 흐름을 확인해보세요. 믿어주세요, 센서의 열 문제를 나중에 해결하기보다는 지금부터 냉각 시스템을 점검하는 것이 훨씬 낫습니다.

웨이퍼 공정용 온도 센서

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

팹 내 탄소 배출량 줄이기: 왜 적외선 가열이 효과적인가?
반도체 제조 공장을 탄소 중립 상태로 만들고 싶다면, 더 이상 기존의 저항식 가열기에 의존해서는 안 됩니다. 그러한 가열기들은 너무 많은 에너지를 낭비합니다.
우리는 최근 웨이퍼 처리 장비에 적외선 가열기를 사용하고 있습니다. 그 이유는 간단합니다. 적외선은 웨이퍼 표면에 직접 작용하기 때문입니다. 웨이퍼를 따뜻하게 하기 위해 전체 챔버를 가열할 필요가 없으므로, 에너지를 훨씬 효율적으로 사용할 수 있습니다.
핵심은 속도입니다.
적외선 시스템은 단파 복사를 사용합니다. 공기가 따뜻해질 때까지 기다릴 필요가 없으며, 광자는 즉시 웨이퍼 표면에 도달합니다. 매우 빠른 속도입니다. 우리는 이러한 시스템을 설정하여 몇 초 안에 목표 온도에 도달하도록 합니다. 그렇게 하면 웨이퍼당 소비되는 전력량이 훨씬 줄어듭니다.
게다가, 기존의 오븐 대신 적외선 가열기를 사용하면 열량도 훨씬 적어집니다. 가열해야 할 금속의 양이 적어지므로, 온도를 일정하게 유지하는 데 드는 에너지도 줄어듭니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 그냥 “설정해놓고 잊어버릴” 수는 없습니다.
친환경적인 목표를 달성하려면 온도가 과도하게 상승하지 않도록 해야 합니다. 그래서 우리는 장비 내부에 고감도 센서를 설치합니다. 이 센서들은 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 순간 즉시 전력 공급을 조절합니다. PID 설정이 제대로 되지 않으면 에너지를 낭비할 뿐만 아니라 웨이퍼가 변형될 위험도 있습니다. 누구도 그런 상황을 원하지 않습니다.
알아두어야 할 타협점입니다.
이러한 고출력 적외선 가열기는 생산 효율성에는 좋지만, 냉각 시스템에는 큰 부담을 줍니다. 그냥 기존 장비에 그냥 설치해서는 안 됩니다. 냉각 시스템이 충분히 강력해야 합니다. 그렇지 않으면 장비가 변형될 수도 있습니다.
“그린 팩토리” 프로젝트에서는 오래된 냉각 시스템 대신 최적화된 적외선 가열기를 사용할 때 가장 좋은 결과가 나타납니다. 이것이 바로 수율을 해치지 않으면서 탄소 발자국을 줄일 수 있는 가장 효과적인 방법입니다.

MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

Thu, 09 Jul 2026 04:37:10 +0800

금 코팅된 반사형 히터를 활용한 MEMS 웨이퍼 건조 과정에서의 전력 효율 극대화
이 히터를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 입력된 모든 전력이 웨이퍼에 정확하게 전달되도록 하는 것입니다. MEMS 제조 과정에서 건조란 단순히 열을 가하는 것이 아니라, 정확하고 일관된 방식으로 열을 전달하는 것입니다.