http://ir-heat-unit.com/ko/tags/%EC%98%A4%EC%A1%B4/ Recent content in 오존 on Compact IR Heating Units Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 06:52:01 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 06:52:01 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="오존이 없는 적외선 램프"></p> <p>팹 내에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계에서 패턴이 실제로 형성됩니다. 온도가 1°C만 벗어나거나, 웨이퍼 위에 과열된 부분이 생기면, 중요한 치수들이 변동하기 시작합니다. 웨이퍼가 에칭 챔버에 들어가기 전부터 생산 효율이 저하됩니다.</p>