http://ir-heat-unit.com/ko/tags/%EC%A0%95%EB%B0%80%EB%8F%84/ Recent content in 정밀도 on Compact IR Heating Units Hugo ko Wed, 22 Jul 2026 04:22:46 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Wed, 22 Jul 2026 04:22:46 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼용 고정밀 IR 센서"></p> <p>와이퍼가 가열될 때까지 기다리는 데 시간을 낭비하지 마세요.<br> 반도체 공장에서 일해본 사람이라면 ‘기다림’이 얼마나 짜증나는 일인지 잘 알고 있을 것입니다.<br> 심층 처리 과정에서 가장 큰 문제는 과정 자체가 아니라, 가열 및 냉각 과정입니다. 전통적인 강제 공기 순환 방식은 너무 느립니다. 결국 뜨거운 공기를 방 안에 불어넣어 와이퍼가 그 열을 충분히 받아서 작업을 할 수 있기를 바라는 것입니다. 이 방식은 매우 느리며, 생산 속도를 저하시킵니다.</p> http://ir-heat-unit.com/ko/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="고정밀 온도 제어형 포토레지스트 가열기"></p> <p>리소그래피 공정에서 ‘베이킹 단계’는 일시적인 정지가 아니라, 허용 오차의 한계를 결정하는 중요한 과정입니다. 포토레지스트의 성능은 온도에 의해 결정되며, 단 몇 십 분의 1도의 온도 변화만으로도 선의 굵기에 오차가 생길 수 있습니다. 이러한 오차는 전기 테스트를 해보기 전까지는 발견될 수 없습니다. 대량 생산 공장에서는 이러한 문제가 발생하면 그 제품은 폐기되거나 재가공되어야 합니다. 저희는 매번 공정의 허용 범위 내에서 온도를 유지하기 위해 고정밀 온도 조절 기능을 갖춘 히터를 사용합니다.</p>