http://ir-heat-unit.com/ko/tags/%EC%B4%89%EB%A7%A4/ Recent content in 촉매 on Compact IR Heating Units Hugo ko Tue, 02 Jun 2026 08:48:34 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 08:48:34 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="연료 전지 촉매 건조 램프"></p> <p>리소그래피 라인에서 소프트 베이크가 단 0.5도만 변해도 CD 커브가 이동하며 웨이퍼 스타트 시간 한 시간이 소모될 수 있다. 우리는 이러한 변동성을 열 예산에서 제거하기 위해 연료전지 촉매 건조 램프를 설계했다. 이 램프는 포토레지스트 흡수와 일치하는 근적외선(NIR) 대역에서 빠르게 건조 열을 가해, 과도 상승 없이 용매 제거를 반복 가능하게 한다.</p>