http://ir-heat-unit.com/ko/tags/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A0%88%EC%A7%80%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포토레지스트 on Compact IR Heating Units Hugo ko Wed, 01 Jul 2026 12:32:20 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ Wed, 01 Jul 2026 12:32:20 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/best-infrared-lamp-for-photoresist/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="포토레지스트용 최고의 적외선 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’ 단계를 통해 포토레지스트의 특성을 확립합니다. 온도가 단 2도만 벗어나도 CD의 품질에 문제가 생기고 불순물이 발생할 수 있습니다. 따라서 열원의 온도는 포토레지스트의 특성에 맞게 조절되어야 합니다. 너무 높거나 낮아서는 안 되며, 매번 정확한 온도 조건이 유지되어야 합니다.</p> http://ir-heat-unit.com/ko/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="고정밀 온도 제어형 포토레지스트 가열기"></p> <p>리소그래피 공정에서 ‘베이킹 단계’는 일시적인 정지가 아니라, 허용 오차의 한계를 결정하는 중요한 과정입니다. 포토레지스트의 성능은 온도에 의해 결정되며, 단 몇 십 분의 1도의 온도 변화만으로도 선의 굵기에 오차가 생길 수 있습니다. 이러한 오차는 전기 테스트를 해보기 전까지는 발견될 수 없습니다. 대량 생산 공장에서는 이러한 문제가 발생하면 그 제품은 폐기되거나 재가공되어야 합니다. 저희는 매번 공정의 허용 범위 내에서 온도를 유지하기 위해 고정밀 온도 조절 기능을 갖춘 히터를 사용합니다.</p>