http://ir-heat-unit.com/ko/tags/nir/ Recent content in (NIR) on Compact IR Heating Units Hugo ko Sun, 28 Jun 2026 05:27:58 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/near-infrared-nir-emitter-bulb/ Sun, 28 Jun 2026 05:27:58 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/near-infrared-nir-emitter-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="근적외선(NIR) 발광체 전구"></p> <p>팹에서의 포토레지스트 건조 과정은 결코 단순한 과정이 아닙니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생기면, 웨이퍼 전체에 걸쳐 CD 값에 변화가 생깁니다. 하드 베이크 과정에서도 온도가 균일하지 않으면, 그 결과로 불량품이 발생합니다. 또한 열 주기 동안 입자가 생성되면, 리소그래피 과정이 완료되기도 전에 수율이 저하됩니다. 따라서 예측 가능하고, 깨끗하며, 빠른 열 처리가 필요합니다.</p> http://ir-heat-unit.com/ko/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Sun, 21 Jun 2026 06:06:29 +0800 http://ir-heat-unit.com/ko/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기"></p> <p>제조 현장에서는 사소한 문제들도 신경 써야 합니다. 소프트 베이크 과정 중에 온도가 0.1°C만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 많은 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 기존의 가열 방식은 열저항 문제를 해결하지 못하지만, NIR 웨이퍼 건조기는 그러한 문제가 없습니다.</p>