Nabije infrarood (NIR) emitterbolletje

Sun, 28 Jun 2026 05:27:58 +0800

Op de productieafdeling is het proces van het verhitten van de fotorezist allesbehalve passief. Een afwijking van 2°C tijdens het zachte verhitten zorgt voor verschillen in temperatuur over het hele productieproces. Onregelmatigheden tijdens het harde verhiten leiden tot problemen. Bovendien kunnen deeltjes die worden gegenereerd tijdens het thermische proces de opbrengst verminderen, nog voordat de lithografieprocedure is afgerond. Er is dus behoefte aan een warmtestroom die voorspelbaar, uniform en snel is.

Wat technisch gezien belangrijk is: Wij gebruiken infrarode stralers die een uniforme warmtestroom geven, zodat de temperatuur op het wafer binnen ±0,1°C blijft. De reactietijd is kort: de temperatuur stijgt en daalt binnen milliseconden. Hierdoor blijft de temperatuur elke keer hetzelfde, ongeacht het aantal productiesessies. De opbrengst blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afwijking in lumen- en temperatuurniveaus. Het kwartsomhulsel en de speciaal ontworpen filamentstructuur zorgen ervoor dat er weinig deeltjes ontstaan, wat essentieel is voor een schone omgeving in klasse 1–100.

Droger voor siliciumchips in het nabije infrarode gebied (NIR)

Sun, 21 Jun 2026 06:06:29 +0800

Op de productielijn leer je om je niet druk te maken over kleine details. Een afwijking van minder dan 0,1°C tijdens het drogen kan leiden tot grote problemen, waardoor veel wafers beschadigd raken. Traditionele warmteplaten proberen de thermische inertie tegen te gaan. NIR-drogers daarentegen niet.

Wat we hebben gebouwd en waarom dat belangrijk is
We hebben deze NIR-droger ontworpen met behulp van near-infraroodstraling. Het doel is om energie rechtstreeks over te dragen naar de fotorezistlaag, zodat deze snel kan drogen. Hierdoor blijft de temperatuur op het oppervlak van de wafel constant binnen een marge van ±0,1°C. Dit zorgt voor een hoge reproduceerbaarheid, zodat de variaties tussen batches binnen de toegestane grenzen blijven. De droger kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100, zonder dat er partikels worden gegenereerd. De droger is ontworpen voor 24/7 gebruik, zonder onverwachte stilstanden, en heeft een levensduur van tienduizenden cycli.

(NIR) on Compact IR Heating Units

Nabije infrarood (NIR) emitterbolletje

Droger voor siliciumchips in het nabije infrarode gebied (NIR)