Goedkope lampenbol voor het drogen van wafers

Thu, 02 Jul 2026 08:25:17 +0800

Op de lithografische werkplek kan een temperatuurschwanking of een langzaam opwarmproces ervoor zorgen dat het proces niet stabiel verloopt. Voor het drogen van wafers en voor de verschillende bewerkingsschakels is het belangrijk om een constante, snelle en zuivere warmtebron te hebben. We gebruiken korte-golflengte infrarode kwarts-halogeenlampen, waardoor we deze controle kunnen behouden zonder extra kosten.

Wat er echt toe doet We kiezen voor korte-golflengte infrarode kwarts-halogeenlampen omdat ze een snel en efficiënt energietransfer mogelijk maken. De reactietijd is minder dan een seconde, zodat de temperatuur nauwkeurig kan worden geregeld. Dit is belangrijk wanneer het gaat om het behouden van de juiste temperaturen in dunne lagen en lage-k-films. De uitgangssterkte van de lampen is zo ingesteld dat er een uniformiteit van ±0,1°C wordt behaald op het oppervlak van de fotoresistent, waardoor de afmetingen en hoeken consistent blijven.

B2B levering van waferfabricagecomponenten

Wed, 17 Jun 2026 15:36:32 +0800

Op de productielijn wacht men nooit. De lithografieapparaten werken achter elkaar, en als er ook maar een kleine afwijking optreedt in de temperatuur tijdens het proces, dan valt de controle op de essentiële dimensies buiten de gewenste parameters. Thermische afwijkingen zijn geen probleem dat zich alleen in schetsen manifesteert – ze leiden tot verspilling, herwerkzaamheden en een verminderde productiecapaciteit.

Wat belangrijk is onder de motorkap We hebben de apparaten voor het produceren van chips ontworpen met behulp van gecontroleerde infraroodverwarming en een kwartsgebaseerd systeem dat zorgt voor een gelijkmatige temperatuur op het oppervlak van de chip, binnen een marge van ±0,1°C. Dit maakt het mogelijk om de stroom van het fotolak nauwkeurig te beheren en de dikte van de laag stabiel te houden. Het systeem werkt in zuiverruimtes van klasse 1–100, waarbij er geen deeltjes worden gegenereerd. Contaminatie wordt gemeten in termen van defecten per chip, niet per schift. We geven aan hoe lang de verwarmingselementen meegaan, in uren. Vaak werken deze apparaten wel 5.000 uur lang zonder dat de productiecapaciteit afneemt.

Wafer on Compact IR Heating Units

Goedkope lampenbol voor het drogen van wafers

B2B levering van waferfabricagecomponenten