Aquecedor de secagem de wafer Micro LED

Tue, 02 Jun 2026 05:59:29 +0800

Out on the line, a pastilha Micro LED sai da limpeza e fica simplesmente parada. Qualquer umidade remanescente na superfície é um convite direto ao colapso do padrão quando o fotoresiste é aplicado, e uma única estria pode atravessar toda a litografia e gravação — rendimento perdido. O secador precisa remover esse filme sem danificar a pilha.

O que focamos “sob o capô”
Desenvolvemos este aquecedor para secagem de pastilhas com controle térmico rigoroso. Na área ativa, a uniformidade em nível de pastilha mantém-se dentro de ±0,1°C, garantindo que a temperatura do fotoresiste durante o soft bake e o hard bake permaneça dentro da janela da receita. Elementos infravermelhos de onda curta proporcionam um aquecimento rápido e repetível — menor orçamento térmico, preservando a integridade do polímero.

Micro on Compact IR Heating Units

Aquecedor de secagem de wafer Micro LED