Sensor de temperatura para ferramentas de wafer

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

Reduzindo as emissões de carbono nas fábricas de semicondutores: por que o aquecimento por radiação infravermelha realmente funciona
Se você quer tornar uma fábrica de semicondutores neutra em termos de emissões de carbono, precisa parar de depender daqueles antigos aquecedores resistentivos. Eles são muito ineficientes.

Ultimamente, temos recorrido a lâmpadas de aquecimento por radiação infravermelha para os equipamentos usados no processamento de wafers. A razão é simples: essas lâmpadas aquecem diretamente o substrato. Não há necessidade de desperdiçar energia tentando aquecer toda a câmara apenas para aquecer o wafer. É uma maneira muito mais eficiente de usar energia.

Aquecedor de fotoresistente de temperatura precisa

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

Na etapa de litografia, o processo de aquecimento não representa uma pausa no processo de produção – na verdade, é um limite de tolerância. O comportamento do fotorelativo é determinado pela temperatura; até mesmo uma variação de poucos décimos de grau pode causar erros na largura das linhas impressas, erros que só serão detectados durante os testes elétricos. Em fábricas de grande escala, isso resulta em desperdício e necessidade de reprocessamento. Nós desenvolvemos um aquecedor de fotorelativo com precisão térmica para manter a temperatura dentro dos limites estabelecidos pelo processo, a todo momento.

Temperatura on Compact IR Heating Units

Sensor de temperatura para ferramentas de wafer

Aquecedor de fotoresistente de temperatura precisa