http://ir-heat-unit.com/ru/tags/%D0%B1%D0%B5%D1%81%D0%BF%D0%BB%D0%B0%D1%82%D0%BD%D1%8B%D0%B9/ Recent content in Бесплатный on Compact IR Heating Units Hugo ru Mon, 29 Jun 2026 06:52:00 +0800 http://ir-heat-unit.com/ru/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 06:52:00 +0800 http://ir-heat-unit.com/ru/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Инфракрасная лампа без озона"></p> <p>На этапе обработки в помещении для производства происходит фактическое формирование структуры пленки на поверхности кристалла. Даже небольшое отклонение температуры в 1°C или перемещение зоны высокой температуры по поверхности кристалла может привести к изменению его критических размеров. Это снижает качество продукции ещё до того, как кристалл попадает в камеру для химической обработки.</p> <p><strong>Что имеет значение с технической точки зрения</strong><br> Мы создали инфракрасную лампу без озона, использующую излучение в ближнем инфракрасном диапазоне и кварцево-галогенную конструкцию, которая позволяет сохранять температурный режим в пределах допустимых значений. Благодаря этому достигается температурная однородность на всей поверхности кристалла; точность контроля температуры составляет ±0,1°C. Отсутствие озона означает отсутствие дополнительных окислителей в воздухе в чистом помещении, а также отсутствие нежелательных химических веществ, которые могли бы попасть в фоторезист во время обработки. Работа лампы остается стабильной в пределах 2% в течение более 5 000 часов, а скорость изменения параметров остается постоянной на протяжении всех циклов обработки.</p>