Мировая торговля оборудованием для производства полупроводников

Tue, 30 Jun 2026 04:58:12 +0800

На линии длиной 300 мм отклонение температуры на уровне 0,5°C во время процесса обработки фотополимера не просто отражается на графиках — оно также приводит к изменению критических размеров изделия на уровне нанометров. Это отклонение напрямую сказывается на качестве продукции, что приводит к снижению её производительности. В процессах литографии и обработки фотополимеров температура играет ключевую роль; это не просто параметр, который можно менять по желанию.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем нагревательные элементы из кварца, не содержащие галогенов и оптимизированные для работы в инфракрасном диапазоне. Они обеспечивают однородность температуры по всей поверхности пластины с точностью до ±0,1°C. Повторяемость результатов прижигания составляет ≤±0,2°C от партии к партии, что позволяет сохранять стабильность характеристик изделия даже при изменении окружающих условий.

Глобально on Compact IR Heating Units

Мировая торговля оборудованием для производства полупроводников