Лампа излучатель в диапазоне ближнего инфракрасного излучения (NIR)

Sun, 28 Jun 2026 05:27:57 +0800

На производственной площадке процесс высушивания фоторезиста совершенно не является пассивным процессом. Даже небольшое изменение температуры в 2°C во время мягкого высушивания приводит к неоднородности толщины слоя фоторезиста на всей площади поверхности Wafer. Неоднородность при жестком высушивании приводит к серьезным проблемам. Кроме того, образование частиц в процессе термических циклов может снизить качество продукции еще до завершения процесса литографии. Необходимо использовать такое нагревательное устройство, которое будет работать предсказуемо, стабильно и быстро.

Что важно с технической точки зрения
Мы используем излучатели в диапазоне ближнего инфракрасного света. Они обеспечивают однородность температурного поля на уровне менее миллиметра, благодаря чему температура на активной поверхности Wafer остается в пределах ±0,1°C. Время нагрева и охлаждения минимально — всего несколько миллисекунд. Это позволяет сохранять одинаковые условия для каждого цикла высушивания. Качество продукции остается стабильным в течение более 5,000 часов; отклонения температуры и яркости составляют менее 5%. Кварцевый корпус и специальная конструкция нити нагревателя помогают снизить количество частиц, что крайне важно для условий класса чистоты 1–100.

Сушитель пластин в диапазоне ближнего инфракрасного излучения (NIR)

Sun, 21 Jun 2026 06:06:29 +0800

На производственном полу человек учится справляться с мелкими проблемами. Даже небольшое отклонение температуры в размере 0,1°C во время процесса высушивания может привести к ошибкам в размерах пластинок и к их браку. Традиционные нагревательные платы борются с тепловым инертностью материалов. Однако сушильные устройства на основе инфракрасного излучения не имеют такой проблемы.

Что мы создали и почему это важно
Мы разработали этот сушильный аппарат на основе использования инфракрасного излучения. Суть заключается в быстрой передаче энергии непосредственно в слой фоторезиста. Это позволяет добиться однородности температуры на всей поверхности пластинки в пределах ±0,1°C, что обеспечивает стабильность процесса. Устройство может работать в чистых помещениях класса 1–100 без какого-либо образования частиц, что подтверждается данными непрерывного контроля. Устройство рассчитано на круглосуточную работу без перерывов, а срок его службы составляет десятки тысяч циклов.

(НИР) on Compact IR Heating Units

Лампа излучатель в диапазоне ближнего инфракрасного излучения (NIR)

Сушитель пластин в диапазоне ближнего инфракрасного излучения (NIR)