http://ir-heat-unit.com/ru/tags/%D0%BF%D0%BE%D0%BB%D1%8C%D0%B7%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D1%82%D0%B5%D0%BB%D1%8C%D1%81%D0%BA%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Пользовательский on Compact IR Heating Units Hugo ru Tue, 09 Jun 2026 03:29:16 +0800 http://ir-heat-unit.com/ru/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Tue, 09 Jun 2026 03:29:16 +0800 http://ir-heat-unit.com/ru/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Настраиваемый инфракрасный нагреватель для пластин"></p> <p>На производственном участке выпекание фоторезиста — это не просто разогрев. Это термический регулятор для контроля ширины линий. Дрейф температуры на 2°C по пластине смещает критические размеры за допуск, а частицы, образующиеся во время выпекания, могут вывести из строя устройства ещё до этапа травления. Мы разработали наши индивидуальные инфракрасные нагреватели для обработки пластин с учётом этих требований.</p> <p><strong>Технически важные аспекты</strong><br> Мы используем излучатели ближнего инфракрасного диапазона с жёстким спектральным контролем для обеспечения быстрого, прямого нагрева. Это снижает тепловую инерцию. Результат — равномерность по пластине в пределах ±0.1°C в зоне выпекания и повторяемость, соответствующая изменчивости от запуска к запуску.<br> Совместимость с чистыми помещениями заложена изначально. Материалы класса 1–100, нулевой выброс газов и конструкция, минимизирующая образование частиц, предотвращают загрязнения внутри тепловой камеры. Профили мягкого и жёсткого выпекания выполняются с точностью, необходимой для литографии, что сохраняет равномерность CD и снижает риск появления плёнок и остатков.</p>