Сушитель пластин в диапазоне ближнего инфракрасного излучения (NIR)

Sun, 21 Jun 2026 06:06:29 +0800

На производственном полу человек учится справляться с мелкими проблемами. Даже небольшое отклонение температуры в размере 0,1°C во время процесса высушивания может привести к ошибкам в размерах пластинок и к их браку. Традиционные нагревательные платы борются с тепловым инертностью материалов. Однако сушильные устройства на основе инфракрасного излучения не имеют такой проблемы.

Что мы создали и почему это важно
Мы разработали этот сушильный аппарат на основе использования инфракрасного излучения. Суть заключается в быстрой передаче энергии непосредственно в слой фоторезиста. Это позволяет добиться однородности температуры на всей поверхности пластинки в пределах ±0,1°C, что обеспечивает стабильность процесса. Устройство может работать в чистых помещениях класса 1–100 без какого-либо образования частиц, что подтверждается данными непрерывного контроля. Устройство рассчитано на круглосуточную работу без перерывов, а срок его службы составляет десятки тысяч циклов.

Сушилка on Compact IR Heating Units

Сушитель пластин в диапазоне ближнего инфракрасного излучения (NIR)