http://ir-heat-unit.com/uk/tags/%D0%BA%D0%B0%D1%82%D0%B0%D0%BB%D1%96%D0%B7%D0%B0%D1%82%D0%BE%D1%80/ Recent content in Каталізатор on Compact IR Heating Units Hugo uk Tue, 02 Jun 2026 08:48:34 +0800 http://ir-heat-unit.com/uk/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 08:48:34 +0800 http://ir-heat-unit.com/uk/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-unit.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Лампа для сушіння каталізатора паливного елемента"></p> <p>На лінії літографії для софт-бейку досить навіть зміщення температури на півградуса, щоб змінити криву CD і втратити годину запусків пластин. Ми розробили лампу для сушіння каталізатора паливних елементів, щоб усунути цю змінність у тепловому бюджеті. Вона працює швидко, подає сухе тепло в діапазоні ближнього інфрачервоного випромінювання (NIR), який збігається з поглинанням фоторезисту, забезпечуючи повторюване видалення розчинника без перевищення температури.</p> <p><strong>Технічні особливості</strong><br> Лампа працює в вузькому діапазоні NIR для швидкого об&rsquo;ємного нагріву. Це означає, що поверхня та об&rsquo;єм фоторезисту нагріваються одночасно — менша тепловідкладка, менший температурний градієнт. Однорідність по пластині тримається в межах ±0,1°C по всьому полю експозиції, а повторюваність температури залишається стабільною цикл за циклом. Емітер розміщений у кварцовому корпусі, що відповідає вимогам чистих приміщень класу 1–100, з підтвердженим нульовим утворенням частинок безпосередньо на місці. Стабільність вихідної потужності не перевищує 3% дрейфу протягом 5 000 годин, що відповідає графіку роботи фабрики 24/7.</p>