Інфрачервоний on Compact IR Heating Units

Індивідуальний інфрачервоний нагрівач для пластини

Tue, 09 Jun 2026 03:29:16 +0800

На виробничому цеху випікання фоторезисту — це не просто розігрів. Це термічний контролер для керування шириною ліній. Дріфт температури на 2°C по поверхні пластини виведе критичні розміри з допустимих меж, а частинки, що утворюються під час випікання, можуть знищити пристрої ще до етапу травлення. Ми розробили наші спеціалізовані інфрачервоні нагрівачі для обробки пластин з урахуванням цих особливостей.

Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо випромінювачі ближнього інфрачервоного діапазону з жорстким спектральним контролем для забезпечення швидкого та прямого нагріву. Це знижує теплову інерцію. Результатом є рівномірність по пластиці в межах ±0.1°C у зоні випікання та повторюваність, що відповідає коливанням від запуску до запуску.

Керамічна панель інфрачервоного обігрівача

Mon, 08 Jun 2026 04:59:22 +0800

На литографічному поверсі зміщення температури на 0,5°C під час м’якшого випікання — це не «дрібна помилка». Це бракована партія. Це втрачений тепловий бюджет і розбалансований контроль критичних розмірів. Ми розробили наші керамічні інфрачервоні нагрівальні панелі саме для усунення цього зміщення з самого початку.

Технічні особливості

Панель використовує керамічні інфрачервоні випромінювачі, які забезпечують швидке, пряме променисте нагрівання пластини, утримуючи теплову однорідність із допуском менше міліметра по всій поверхні. Ви отримуєте теплове поле з повторюваною характеристикою, стабільнішу за традиційну гарячу плиту.

Інфрачервона нагрівальна лампа R7s для плівки

Sun, 07 Jun 2026 03:42:53 +0800

На литографічному поверсі навіть зміщення софт-бейку на півградуса може зсунути критичне зміщення розмірів і знищити багато результатів. Потрібне стабільне тепло — встановив і забув, а не тримаєш кулаки.

Що важливо під капотом
Ми специфікуємо інфрачервоні нагрівальні лампи R7s для теплових бюджетів напівпровідників. Короткохвильове випромінювання швидко передає енергію безпосередньо у фоторезист, мінімізуючи нагрів підкладки. Кварцова оболонка вибрана за високою чистотою і низьким рівнем дегазації, що забезпечує стабільну кількість часток у чистих зонах класу 1–100. По поверхні запікання досягається однорідність ±0,1°C, а відтворюваність зберігається між партіями. Цоколь R7s підходить до стандартних патронів, а сама лампа розрахована на безперервну роботу 24/7, забезпечуючи стабільний вихід понад 5 000 годин.

Інфрачервоний нагрівач для виготовлення LCD панелей

Mon, 01 Jun 2026 02:20:22 +0800

На лінії температурна крива — це не рекомендація, а процес. У виробництві LCD-панелей шар фоторезисту, температура підкладки та профіль випікання безпосередньо визначають ширину ліній, кут нахилу бокової стінки та бюджет дефектів. Якщо випікання виходить з контролю, ви втрачаєте не лише вихід продукції. Ви втрачаєте трасованість і можливість замикати цикл між литографією, травленням та даними інспекції.
Ми розробили наші інфрачервоні нагрівачі саме під цю реальність: інструмент, який підтримує температуру там, де це потрібно процесу — хвилина за хвилиною, протягом змін, партій і машин.