Cảm biến nhiệt độ dùng cho các dụng cụ xử lý wafer

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

Giảm lượng khí carbon trong quy trình sản xuất: Tại sao việc sử dụng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại lại hiệu quả?
Nếu bạn muốn biến nhà máy sản xuất chất bán dẫn thành nhà máy không phát thải khí carbon, bạn cần ngừng sử dụng những thiết bị sưởi truyền thống. Những thiết bị này gây lãng phí năng lượng một cách khủng khiếp.

Gần đây, chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại cho các thiết bị xử lý wafer. Lý do rất đơn giản: chúng có thể làm nóng bề mặt wafer trực tiếp. Bạn không cần phải tiêu tốn năng lượng để làm nóng toàn bộ buồng sản xuất chỉ để làm ấm wafer. Đó là cách sử dụng năng lượng hiệu quả hơn nhiều.

Bộ sưởi chất cảm quang có độ chính xác cao về nhiệt độ

Fri, 26 Jun 2026 04:50:38 +0800

Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, việc nung chảy vật liệu không phải là một giai đoạn tạm dừng, mà là một yếu tố quan trọng để đảm bảo độ chính xác trong quy trình sản xuất. Hiệu suất của vật liệu photoresist phụ thuộc vào nhiệt độ; ngay cả sự thay đổi nhỏ vài chục phần trăm độ C cũng có thể gây ra sai lệch về chiều rộng của các đường nét được in ra, và điều này chỉ có thể được phát hiện thông qua các xét nghiệm điện tử. Trong các nhà máy sản xuất với công suất lớn, điều này đồng nghĩa với việc phải loại bỏ sản phẩm lỗi và tiến hành tái sản xuất. Chúng tôi đã thiết kế bộ sưởi có độ chính xác cao để duy trì nhiệt độ trong khoảng cho phép trong suốt quy trình sản xuất.

Nhiệt Độ on Compact IR Heating Units

Cảm biến nhiệt độ dùng cho các dụng cụ xử lý wafer

Bộ sưởi chất cảm quang có độ chính xác cao về nhiệt độ