传感器 on Compact IR Heating Units

用于晶圆的精密红外传感器

Wed, 22 Jul 2026 04:22:46 +0800

别再浪费时间等待晶圆加热了

如果你曾在半导体工厂工作过，那么你一定了解“等待”带来的痛苦。在深度加工过程中，最耗时的环节往往不是加工本身，而是晶圆的预热和冷却过程。传统的强制空气加热方式效率极低——其实只是把热空气吹遍整个房间，希望晶圆能接收到足够的热量来完成加工。这种方式速度慢，效率低，还会降低产量。

智能传感器封装红外技术

Tue, 21 Jul 2026 09:39:43 +0800

别再为那些在易爆环境中的红外灯而烦恼了。说实话，把红外灯放在化学清洁环境中实在是一件令人担忧的事。当周围全是易燃溶剂和爆炸性气体时，就相当于在玩火一样。哪怕有个小火花或灯具外壳出现裂纹，都可能引发火灾。

因此，我们决定不再使用传统结构的红外灯，而是改用带有智能传感器的装置。这样更安全。

防止有害物质侵入
我们将红外灯的部件封装在多层保护结构中，这就像一个坚固的屏障。它能防止腐蚀性清洁剂损坏灯具，同时也能避免加热元件引燃周围的蒸气。我们使用的材料能够耐受各种恶劣的化学物质，不会被腐蚀。由于密封不良会导致整个灯具失效，所以我们不使用胶水，而是采用焊接方式来固定部件，这样才更可靠。

氢气传感器制造用加热器

Sun, 19 Jul 2026 15:43:08 +0800

别再让加热器破坏你的氢传感器了

如果你曾经在100级洁净室中工作过，那么你就知道那里的处境有多糟糕。你不得不不断与那些看不见的污染物作斗争。

最糟糕的问题就是气体释放问题。大多数普通加热元件实际上都是污染源——当温度升高时，它们会释放出微小的颗粒物或挥发性有机化合物。这样一来，传感器的灵敏度就会下降。这不仅令人沮丧，而且还会带来高昂的维修成本。

晶圆加工设备用温度传感器

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

在半导体制造过程中减少碳排放：为什么红外加热如此有效？
如果你想让半导体工厂实现碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。因为它们实在太浪费能源了。
最近，我们开始使用红外加热灯来为晶圆提供热量。原因很简单：这种加热方式可以直接作用于晶圆表面，无需花费大量能量来加热整个腔体。这是一种更高效的用能方式。
关键在于速度。
红外系统利用的是短波辐射，因此光子可以立即照射到晶圆表面，无需等待空气升温。这样一来，就能在几秒钟内达到所需温度，从而大大减少每块晶圆所需的能耗。
此外，使用红外加热器后，需要加热的金属量也会减少，这样就可以节省更多的能量。
不过，这里有个问题：不能简单地“设置好就不管了”。
如果你想实现绿色目标，就必须确保温度不会过高。因此，我们会在加热装置中安装响应速度极快的传感器，一旦晶圆达到目标温度，这些传感器就会立即调节功率。如果PID控制不当，不仅会浪费电能，还可能导致晶圆变形。显然，没人希望出现这种情况。
你需要了解的权衡点。
虽然这些高密度加热灯效率很高，但它们会给冷却系统带来很大压力。不能把它们直接装在旧设备里，因为那样做的话，冷却系统可能无法承受高温带来的负担。如果冷却系统不够强大，那么设备框架就有可能变形。
在“绿色工厂”项目中，当工厂用经过优化设计的红外加热系统取代老旧的加热系统时，效果最好。这可能是在不影响生产率的情况下减少碳排放的最佳方法。

MEMS传感器晶圆干燥加热器

Thu, 09 Jul 2026 04:37:10 +0800

利用镀金反射式加热器最大化MEMS晶圆的干燥效果

我们设计这种加热器的理由很简单：确保输入的每一瓦特电能都能转化为作用于晶圆上的精准热量。因为在MEMS制造过程中，干燥并不仅仅是让物体变热而已，关键是要实现精确、可重复且可控的热量传递。

热量产生的原理

该加热器的核心是一个高密度加热元件，它能够释放出集中的热能。整个系统的设计都是为了适应腔室内的热负荷需求，因此即使在快速循环工作时也能保持稳定状态。