晶圆加工设备用温度传感器

Fri, 10 Jul 2026 12:48:56 +0800

在半导体制造过程中减少碳排放：为什么红外加热如此有效？
如果你想让半导体工厂实现碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。因为它们实在太浪费能源了。
最近，我们开始使用红外加热灯来为晶圆提供热量。原因很简单：这种加热方式可以直接作用于晶圆表面，无需花费大量能量来加热整个腔体。这是一种更高效的用能方式。
关键在于速度。
红外系统利用的是短波辐射，因此光子可以立即照射到晶圆表面，无需等待空气升温。这样一来，就能在几秒钟内达到所需温度，从而大大减少每块晶圆所需的能耗。
此外，使用红外加热器后，需要加热的金属量也会减少，这样就可以节省更多的能量。
不过，这里有个问题：不能简单地“设置好就不管了”。
如果你想实现绿色目标，就必须确保温度不会过高。因此，我们会在加热装置中安装响应速度极快的传感器，一旦晶圆达到目标温度，这些传感器就会立即调节功率。如果PID控制不当，不仅会浪费电能，还可能导致晶圆变形。显然，没人希望出现这种情况。
你需要了解的权衡点。
虽然这些高密度加热灯效率很高，但它们会给冷却系统带来很大压力。不能把它们直接装在旧设备里，因为那样做的话，冷却系统可能无法承受高温带来的负担。如果冷却系统不够强大，那么设备框架就有可能变形。
在“绿色工厂”项目中，当工厂用经过优化设计的红外加热系统取代老旧的加热系统时，效果最好。这可能是在不影响生产率的情况下减少碳排放的最佳方法。

高精度温度光刻胶加热器

Fri, 26 Jun 2026 04:50:39 +0800

在光刻工艺中，烘烤步骤并非简单的暂停过程，而是一种确保工艺参数处于规定范围内的手段。光刻胶的性能受温度影响极大，哪怕温度偏差仅几十分之一度，都可能导致线条宽度出现误差，而这种误差在电气测试时才能被发现。在大规模生产环境中，这样的误差意味着产品需要被废弃并重新加工。因此，我们设计了精密温度控制装置，以确保温度始终处于工艺要求的范围内。

温度 on Compact IR Heating Units

晶圆加工设备用温度传感器

高精度温度光刻胶加热器