ফ্যাব ফ্লোরে, “সফট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলোর মাধ্যমেই উৎপাদন প্রক্রিয়াটি নির্ধারিত হয়। যদি তাপমাত্রা ১°C এর বেশি হয়, অথবা ওয়েফারের উপর কোনো গরম বিন্দু থাকে, তাহলে উৎপাদন প্রক্রিয়াটি বিঘ্নিত হয়। ওয়েফারটি ইচ চেম্বারে পৌঁছানোর আগেই উৎপাদন ক্ষমতা কমে যায়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা অজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি; এটা নিয়ার-ইনফ্রারেড রশ্মি ও কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন কাঠামোর উপর ভিত্তি করে তৈরি হয়েছে। এর ফলে ওয়েফারের উপর সূক্ষ্ম-মিলিমিটার স্তরে তাপীয় সমানতা বজায় থাকে; তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয় ±0.1°C এর মধ্যে। অজোন না থাকার ফলে ক্লিনরুমের বাতাসে কোনো অক্সিডেন্ট থাকে না; আর বেকিং প্রক্রিয়ার সময় ফটোরেজিস্টে কোনো অবাঞ্ছিত রাসায়নিক পদার্থ ঢুকতে পারে না। ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে আউটপুটটি ২% এর মধ্যেই স্থিতিশীল থাকে; আর প্রক্রিয়াটি বারবার পুনরাবৃত্ত হয়।
লিথোগ্রাফিতে এটি কেন কার্যকর?
“সফট বেক” প্রক্রিয়ার মাধ্যমে দ্রবণগুলো অপসারিত হয় এবং ফিল্মের চাপ কমে যায়। “হার্ড বেক” প্রক্রিয়ার মাধ্যমে ফিল্মটির আঠালোতা ও ইচ প্রতিরোধ ক্ষমতা নির্ধারিত হয়। ল্যাম্পটি ২০০তম ওয়েফারেও প্রথম ওয়েফারের মতোই একই ধরনের তাপ সরবরাহ করে; ফলে CD নিয়ন্ত্রণ ও ওভারলে সমস্যা দেখা দেয় না। এটা ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমেও কাজ করে; কারণ এখানে কণা-নিয়ন্ত্রিত উপাদান ব্যবহৃত হয় এবং গ্যাস নির্গমন কম থাকে। ফলে অপচয় কমে যায়, রিওয়ার্কিংয়ের প্রয়োজন কমে যায়; আর শক্তি ব্যবহারও নির্ধারণযোগ্য থাকে।
কী বিষয়গুলো বিবেচনা করতে হবে?
ইনস্টলেশনের সময় ওয়েফারের দিকে সরাসরি দৃষ্টিভঙ্গি থাকতে হবে; আর তাপ সরবরাহের পথটি পরিষ্কার ও প্রতিফলনশীল হতে হবে। কোনো বাধা থাকলে ছায়া দেখা দেয়। ল্যাম্পটি সবচেয়ে ভালোভাবে কাজ করে যখন এটা সাবস্ট্রেটের শোষণ ব্যান্ডের সাথে মিলে যায়; তাই যদি প্রক্রিয়াটি পরিবর্তন করা হয়, তাহলে ইন্টেনসিটি ও ডwell টাইমে সামান্য পরিবর্তন করতে হবে। তাপীয় ভারসাম্য অর্জনের জন্য ৩০ মিনিট সময় দিতে হবে।