Auf dem Lithografieboden kann eine Temperaturänderung oder ein langsames Aufwärmen dazu führen, dass das eigentlich stabile Produktionsprozessverhalten gestört wird. Für das Trocknen der Wafer sowie für die verschiedenen Brennvorgänge ist eine zuverlässige, schnelle und präzise Wärmeversorgung erforderlich. Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Quarz-Halogenglühbirnen – dadurch lässt sich die Temperatur präzise kontrollieren, ohne hohe Kosten.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Quarz-Halogenglühbirnen, damit die Energieübertragung schnell und direkt erfolgen kann. Die Reaktionszeit beträgt weniger als eine Sekunde – das ist wichtig, wenn es darum geht, die thermischen Bedingungen bei dünnen Schichten und Low-K-Schichten zu kontrollieren. Die Leistung der Glühbirne wird so eingestellt, dass auf der Oberfläche des Fotoleitmittels eine Temperatunkonstanz von ±0,1°C erreicht wird. Dadurch bleiben die entscheidenden Abmessungen sowie die Winkel der Seitenwände konstant.
Der Glühbirnenkörper ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – er hat verschlossene Enden und besteht aus Materialien, die wenig Gase abgeben. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, mit weniger als 5% Abweichung in der Intensität. Dadurch bleibt das Prozessfenster konstant, unabhängig von der Glühbirne selbst.
Warum diese Glühbirnen in der Produktion funktionieren
Die Vorteile sind praktisch: Schnellere Brennvorgänge erhöhen die Durchlaufgeschwindigkeit und senken den Energieverbrauch. Eine genaue Temperaturkontrolle reduziert die Notwendigkeit zur Nachbearbeitung des Fotoleitmittels – dadurch sinkt der Chemikalienverbrauch und die Verluste im Produktionsprozess. Die gleichen Glühbirnen können auch zum Trocknen der Wafer verwendet werden – dadurch werden Wasserzeichen und Defekte bereits vor der Lithografie vermieden. Der Austausch der Glühbirnen ist einfach – dadurch werden ungeplante Stillstände vermieden und die Wartungszeiten sind vorhersehbar.
Details, die dafür sorgen, dass alles problemlos funktioniert
Diese Glühbirnen passen in Standard-OEM-Glühbirnenhalterungen. Bevor Sie bestellen, prüfen Sie bitte den Anschlusstyp, die Länge des Glühbirnenkörpers sowie die Spannung. Für eine optimale Konstanz sollte die Geometrie des Reflektors angepasst werden und der Abstand zwischen Glühbirne und Bearbeitungsstation muss innerhalb des zulässigen Bereichs liegen. Behandeln Sie den Quarzkörper entsprechend den Richtlinien für Reinräume – Fingerabdrücke und Öle können Hotspots verursachen und die Leistung beeinträchtigen. Arbeiten Sie innerhalb der zugelassenen Leistung, dann erhalten Sie wiederholbare Ergebnisse von Schicht zu Schicht.