In einer Linie mit einer Länge von 300 mm führt eine Temperaturänderung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists nicht nur zu...

Auf dem Fertigungsboden ist eine Drift von 0,5 Grad bei der Backtemperatur kein kleiner Wert. Es bedeutet ein verlorenes Wafer, eine...