در فرآیند پخت رزیست، این فرآیند اصلاً منفعل نیست. تغییر دما در حد ۲ درجه سانتیگراد میتواند باعث ایجاد تفاوتهایی در کیفیت ورقههای سیلیکونی شود. عدم یکنواختی در فرآیند پخت سخت نیز میتواند منجر به کاهش کیفیت محصولات شود. همچنین، تولید ذرات در حین چرخههای حرارتی میتواند باعث کاهش بازدهی در فرآیند لیتوگرافی شود. بنابراین، نیاز به حرارتی وجود دارد که قابل پیشبینی، تمیز و سریع باشد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از لامپهای امیتر نزدیکمادونقرمز استفاده میکنیم؛ این لامپها باعث ایجاد یکنواختی در میدان حرارتی در سطح زیر میلیمتری میشوند. بنابراین، دمای ورقههای سیلیکونی در سراسر ناحیه فعال، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. پاسخ این لامپها سریع است؛ زمان گرم شدن و سرد شدن آنها در چند میلیثانیه است. بنابراین، هر چرخه پخت، در یک شرایط حرارتی یکسان انجام میشود. کیفیت خروجی نیز در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند؛ تغییرات دما کمتر از ۵٪ است. همچنین، پوشش کوارتزی و ساختار مناسب فیلامنت، باعث کاهش تولید ذرات میشود؛ که این موضوع برای فضاهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ بسیار مهم است.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟
در فرآیند لیتوگرافی، لامپهای نزدیکمادونقرمز مستقیماً روی رزیست تأثیر میگذارند؛ بنابراین دیوارههای محفظه گرم نمیشوند. در نتیجه، تأخیرات حرارتی و اختلافات دما از بین میرود. همچنین، یکنواختی لایههای رزیست بهبود مییابد. در فرآیند پخت سخت نیز، رزیست به خوبی پخته میشود و هیچ ماده حلکنندهای در آن باقی نمیماند؛ که این موضوع باعث کاهش نقصها و بهبود انتخابپذیری فرآیند حکاکی میشود. نتیجه این امر، بازدهی بالاتر در هر چرخه کار، کاهش تعداد کارهای تکراری، و مصرف انرژی کمتر است.
نکته مهم:
لامپهای نزدیکمادونقرمز، لامپهایی هستند که از طریق خط دید، حرارت تولید میکنند. بنابراین، تنظیمات مربوط به محل قرارگیری لامپها و فاصله آنها باید دقیق باشد؛ در غیر این صورت، یکنواختی از بین میرود. کسانی که این لامپها را استفاده میکنند، باید از سازگاری آنها با کنترلکنندههای فرآیند، سیستمهای بستهبندی و سایر قطعات مربوطه مطمئن شوند. همچنین، باید از محافظت مناسب و عایقبندی حرارتی برای جلوگیری از گرم شدن ماژولهای اطراف ایستگاه پخت استفاده کرد.