در کارخانههای تولید، باید یاد بگیریم که چگونه با مشکلات کوچک کنار بیاییم. حتی تغییر دما در محدوده زیر ۰.۱ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث اختلال در فرآیند تولید و از بین رفتن تعداد زیادی از ویفرها شود. صفحات گرمایشی سنتی با این مشکل مقابله میکنند؛ اما خشککنهای NIR چنین نیستند.
آنچه ساختیم و چرا اهمیت دارد
ما این خشککن NIR را بر پایه گرمایش به صورت تابشی نزدیک به مادون قرمز ساختیم. هدف، انتقال سریع انرژی به لایه فوتورزیست است؛ این کار باعث میشود یکنواختی دما در سراسر ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. این روش امکان کنترل دقیق تغییرات دما را فراهم میکند. این دستگاه در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ کار میکند و هیچ ذرهای تولید نمیکند؛ این موضوع از طریق نظارت لحظهای تأیید شده است. این دستگاه برای کار ۲۴/۷ مناسب است و در کارهای آزمایشی، هیچ توقف غیرمنتظرهای ندارد؛ عمر مفید آن نیز دهها هزار بار کارکرد است.
چرا این دستگاه برای فرآیندهای لیتوگرافی مناسب است
در فرآیندهای لیتوگرافی، فرآیندهای گرمایشی موجب تعیین چسبندگی فوتورزیست و خارج شدن حلال از آن میشوند؛ همچنین این فرآیندها مشخص میکنند که سطح ویفر چگونه باشد. با استفاده از این خشککن NIR، میتوانیم دمای سطح ویفر را تثبیت کنیم؛ این کار باعث میشود یکنواختی دما از اولین محموله تا پنجاهمین محموله حفظ شود. این روش باعث کاهش مدت زمان گرمایش، کاهش مصرف انرژی و کاهش تعداد ویفرهای باکیفیت پایین میشود. همچنین، این روش امکان ادغام آن در سیستمهای موجود را فراهم میکند.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید
برای استفاده از این خشککن، نیاز به خط دید مستقیم به ویفر وجود دارد؛ همچنین مسیر بازتاب نور نیز باید کنترل شود. استفاده از حاملهای چندلایه یا چوبکهای غیراستاندارد میتواند مانع از کارکرد صحیح دستگاه شود. بنابراین، باید از دستگاههای مخصوص برای این منظور استفاده کرد و آنها را با سیستمهای موجود هماهنگ کرد. پس از هماهنگی، این دستگاه عملکرد قابل تکراری دارد و نیاز به نگهداری کمی دارد؛ اما محدودیتهای مربوط به تنظیمات دستگاه، بیشتر از سیستمهای مبتنی بر تماس است.