دیگر وقت خود را صرف انتظار برای گرم شدن ویفرها نکنید!
اگر تا به حال در کارخانههای تولید نیمههادی کار کردهاید، میدانید که انتظار کردن چقدر آزاردهنده است.
بزرگترین مانع در فرآیندهای پردازش عمیق، خود فرآیند نیست؛ بلکه زمان لازم برای گرم شدن و سرد شدن ویفرهاست. سیستمهای گرمایشی مبتنی بر هوای فشرده، بسیار کند عمل میکنند؛ در واقع، شما فقط گاز گرم را در اتاق پخش میکنید و امیدوارید که ویفرها به اندازه کافی از این گاز استفاده کنند تا کارشان انجام شود. این روش بسیار کند است و باعث کاهش بهرهوری میشود.
اما روش گرمایش با امواج مادون قرمز چطور است؟
در این روش، به جای گرم کردن هوا، امواج مادون قرمز مستقیماً به سطح ویفر اعمال میشوند. این روش، روش کاملاً متفاوتی برای استفاده از انرژی است.
چرا این روش مؤثر است؟
هوا، رسانای بدی برای گرما است؛ بنابراین، وقتی از سیستمهای گرمایشی مبتنی بر هوای فشرده استفاده میکنید، انرژی زیادی صرف گرم کردن فضای خالی داخل اتاق میشود.
اما در روش گرمایش با امواج مادون قرمز، انرژی مستقیماً به سطح ویفر اعمال میشود؛ بنابراین زمان لازم برای گرم شدن ویفرها بسیار کمتر میشود. این روش، روشی بسیار بهتر نسبت به سیستمهای گرمایشی مبتنی بر هوای فشرده است.
معایب این روش
البته، روش گرمایش با امواج مادون قرمز نیز دارای معایبی است. از آنجایی که این روش بسیار قدرتمند است، امکان افزایش بیش از حد دما وجود دارد. اگر سنسورهای مورد استفاده ارزان یا نادقیق باشند، ممکن است ویفرها آسیب ببینند.
برای جلوگیری از این مشکل، از سیستمهای بازخوردی استفاده میشود؛ این سیستمها به سیستم اجازه میدهند تا دمای ویفرها را به طور زنده اندازهگیری کرده و توان مورد نیاز را تنظیم کند. این روش، روشی بسیار بهتر نسبت به سیستمهای گرمایشی سنتی است.
واقعیت
قبل از اینکه تجهیزات قدیمی خود را حذف کنید، باید به یاد داشته باشید که روش گرمایش با امواج مادون قرمز، روش جادویی نیست. این روش، گرمای زیادی تولید میکند؛ بنابراین، تجهیزات شما باید با فشار بیشتری کنار بیایند. به ویژه، درزها و سیلهای مورد استفاده برای حفاظت از ویفرها، ممکن است آسیب ببینند.
اما اگر قصد افزایش تولید را دارید، روش گرمایش با امواج مادون قرمز گزینه خوبی است. این روش، فضای کمتری نیاز دارد و ویفرها را با سرعت بیشتری از کارخانه خارج میکند، بدون اینکه به سیلیکون آسیبی برسد.