על רצפת הייצור, חימום פוטורזיסט אינו חימום מקדים. הוא השומר התרמי על בקרת רוחב הקו. שינוי של 2°C על פני הוופר ידחוף את הממדים הקריטיים מחוץ למפרט,...

Out on the line, המיקרו LED wafer יוצא מניקוי ופשוט נשאר שם. כל לחות שנותרה על המשטח היא הזמנה ישירה לקריסת התבנית כאשר הפוטורזיסט מגיע, ופס אחד יכול...