על רצפת הייצור, חימום פוטורזיסט אינו חימום מקדים. הוא השומר התרמי על בקרת רוחב הקו. שינוי של 2°C על פני הוופר ידחוף את הממדים הקריטיים מחוץ למפרט, וחלקיקים שנוצרים במהלך החימום יכולים להרוס מכשירים לפני שהחיתוך מתבצע. בנינו את מחממי אינפרא-אדום המותאמים שלנו לעיבוד וופרים כדי להתאים למציאות הזו.
מה שחשוב, טכנית אנו נשענים על מפיצי אינפרא-אדום קרוב עם שליטה ספקטרלית הדוקה כדי לספק חימום מהיר, מחובר ישירות. זה מפחית את האינרציה התרמית. התוצאה היא אחידות ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C לאורך אזור החימום, וחזרתיות ששומרת על קצב עם השונות בין ריצות. התאמת לחדר נקי מתוכננת מההתחלה. חומרים תואמי Class 1–100, אפס גזים מתנדפים, ועיצוב שנמנע מחלקיקים שומרים על זיהום מחוץ לשטח התרמי. פרופילים של חימום רך וחימום קשה מתבצעים עם הדיוק שדרוש בליתוגרפיה, שומרים על אחידות CD ומפחיתים את הסיכון להצטברות שומן ושאריות. למה זה מחזיק בייצור בריצות אמיתיות, אתה מקבל חלונות תהליך יציבים ופחות חריגות הנגרמות על ידי חוסר אחידות תרמית. עלייה לנקודת הגדרה היא מהירה יותר, כך שהזמן במחזור יורד מבלי לפגוע בשלמות הפרופיל. גם האנרגיה לכל וופר יורדת, משום שהחום מועבר לפי דרישה עם אובדן מינימלי בעמידה. האמינות מתבטאת בזמני פעולה. ראינו יחידות פועלות 24/7 עם אפס זמן השבתה לא מתוכנן במסלולי חימום קריטיים, ופחות החלפות מחממים משמעותן פחות מלאי חלפים וחלונות תחזוקה קצרים יותר. הפרטים הפרקטיים האינטגרציה היא ספציפית לכלי. המחממים הללו זקוקים לממשק תרמי תואם, סובלנות הרכבה הדוקה, וספק כוח נקי כדי לשמור על יציבות של ±0.1°C. תכנן ריצה קצרה של השקת מכשירים כדי לכוון את מפות PID וכוח המפיץ לגיאומטריית החדר שלך. ברגע שהכל מיושר, התהליך נשאר ניתן לחזרה—והתקציב התרמי מפסיק להילחם בתהליך.