על רצפת הייצור, חימום פוטורזיסט אינו חימום מקדים. הוא השומר התרמי על בקרת רוחב הקו. שינוי של 2°C על פני הוופר ידחוף את הממדים הקריטיים מחוץ למפרט,...

בקומת הליתוגרפיה, סטייה של 0.5°C במהלך ה־soft bake אינה “טעות קטנה”. זו מערכת שנטשנו. התקציב התרמי מתבזבז ושליטה במידות הקריטיות מתערערת....

על הקו, עקומת הטמפרטורה אינה המלצה – זו התהליך. במפעל לייצור פאנלים LCD, ערימת הפוטורזיסט, טמפרטורת המצע ופרופיל האפייה מגדירים ישירות את רוחב...