ASML लिथोग्राफी लैंप स्पेयर्स: उच्च-वोल्टेज, उच्च-घनत्व वाले वेफरों के लिए आदर्श विकल्प
हम केवल बातें ही नहीं कर रहे हैं… हम अपने ASML लिथोग्राफी लैंप स्पेयर्स को किसी भी अंतरराष्ट्रीय ब्रांड के उत्पादों के साथ आमने-सामने लाने के लिए तैयार हैं… आपकी उच्च-स्तरीय वेफर फैक्ट्री में ही। हम इसका परीक्षण करने के लिए तैयार हैं… क्योंकि हमें पूरा विश्वास है कि इन लैंपों की विशेषताएँ बिल्कुल सही हैं।
ऊर्जा, वोल्टेज एवं आकार – वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
ASML लिथोग्राफी लैंपों को बहुत ही विशिष्ट प्रकार की ऊर्जा की आवश्यकता होती है… इसलिए हम अपने लैंपों को उच्च वोल्टेज पर ही चलाते हैं… लगभग 400V। इससे स्थिर आउटपुट प्राप्त होता है। वाटेज ऐसा ही होता है कि छोटे से स्थान में भी अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… आमतौर पर 300 मिमी आकार के ट्यूब में।
यह छोटा आकार बहुत ही महत्वपूर्ण है… इससे ऊष्मा ठीक वहीं केंद्रित होती है, जहाँ इसकी आवश्यकता है… और ऑप्टिक्स सिस्टम को पुनः डिज़ाइन करने की आवश्यकता नहीं पड़ती।
लेकिन इसका एक नुकसान भी है… उच्च वोल्टेज पर अधिक ऊर्जा का उपयोग होने से चेम्बर में अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… इसलिए मशीन की कूलिंग सिस्टम भी इसका सामना करने में सक्षम होनी चाहिए… अन्यथा लैंप अत्यधिक गर्म हो जाता है, और आउटपुट में गड़बड़ी होने लगती है।
हमारे लैंपों में क्या है? हैलोजन, क्वार्ट्ज, एवं एक उन्नत कनेक्टर
हमारे लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ट्यूब में हैलोजन चक्र होता है… हैलोजन चक्र, फिलामेंट एवं ट्यूब को साफ रखने में मदद करता है… जिससे कालापन कम होता है, एवं आउटपुट स्थिर रहता है। क्वार्ट्ज, उच्च तापमान को सहन कर सकता है… एवं तीव्र UV/IR विकिरण के तहत भी स्थिर रहता है। हम ट्यूब पर विशेष कोटिंग भी लगाते हैं… ताकि इन्फ्रारेड विकिरण पर नियंत्रण रखा जा सके… जिससे आसपास के ऑप्टिक्स सिस्टम पर ऊष्मा का प्रभाव कम होता है।
और कनेक्टर? R7s… यह सरल, मजबूत है… एवं तेजी से जुड़ जाता है… इससे लैंप बदलने में कोई परेशानी नहीं होती… एवं अस्थिर कनेक्शन के कारण होने वाली समस्याएँ भी नहीं होतीं।
यह क्यों महत्वपूर्ण है?
यह सेटअप वेफर लिथोग्राफी के लिए ही बनाया गया है… जहाँ आउटपुट की स्थिरता ही सबसे महत्वपूर्ण है। ये लैंप निरंतर एवं स्थिर आउटपुट देते हैं… जिससे पूरी प्रक्रिया में स्थिरता बनी रहती है। R7s डिज़ाइन के कारण इन लैंपों को आसानी से इस्तेमाल किया जा सकता है… बस इन्हें कनेक्ट कर दीजिए… और आप तुरंत ही काम शुरू कर सकते हैं।
जब आप अपनी मशीन में इन लैंपों का परीक्षण करते हैं, तो आप केवल चमक ही नहीं, बल्कि आउटपुट की स्थिरता, घंटों तक आउटपुट की स्थिरता, एवं मशीन के विभिन्न कार्यों के दौरान लैंप का व्यवहार भी देखते हैं। हम इस परीक्षण के लिए तैयार हैं… क्योंकि हमारे लैंपों की विशेषताएँ इस कार्य के लिए उपयुक्त ही हैं।