पत्थरीय सतह पर, तापमान में होने वाले बदलाव या धीमी गति से होने वाला गर्म होना, उस प्रक्रिया को बर्बाद कर सकता है जिसे स्थिर रखना आवश्यक है। वेफरों को सुखाने, उन्हें नरम/कठोर रूप देने हेतु ऐसी ऊष्मा आवश्यक है जो नियंत्रित, तेज एवं स्थिर हो। हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड क्वार्ट्ज हैलोजन बल्बों का उपयोग करते हैं; ऐसे बल्बों से ऐसा नियंत्रण संभव हो जाता है, बिना अतिरिक्त लागत के।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड क्वार्ट्ज हैलोजन बल्बों का उपयोग तेज एवं सीधे ऊर्जा संचरण हेतु करते हैं। प्रतिक्रिया समय कुछ ही सेकंड है; इसलिए तापमान नियंत्रण बहुत ही सटीक रहता है – यह खासकर तब महत्वपूर्ण है जब पतली परतों एवं कम-के फिल्मों पर तापमान नियंत्रित करना आवश्यक हो। वेफर की सतह पर तापमान समान रहता है – लगभग ±0.1°C – जिससे महत्वपूर्ण आयाम एवं साइडवॉल कोण स्थिर रहते हैं।
बल्ब का डिज़ाइन क्लीनरूम-उपयुक्त है; इसके छिद्र बंद होते हैं, एवं इसमें ऐसी सामग्री होती है जिससे कणों की संख्या कम रहती है। 5,000 घंटों तक बल्ब का आउटपुट स्थिर रहता है; इंटेंसिटी में 5% से कम बदलाव होता है। इससे प्रक्रिया में कोई बाधा नहीं आती।
उत्पादन में इसकी उपयोगिता
इसके फायदे व्यावहारिक हैं – तेज गति से वेफर सूख जाते हैं, ऊर्जा की खपत कम होती है। सटीक तापमान नियंत्रण से फोटोरेसिस्ट को दोबारा प्रसंस्कृत करने की आवश्यकता नहीं पड़ती; इससे रासायनिक पदार्थों की खपत एवं उत्पादन हानि कम होती है। यही बल्ब वेफरों को तेजी से सुखाने में भी मदद करता है; इससे लिथोग्राफी से पहले ही दोष कम हो जाते हैं। बल्ब को बदलना आसान है; इससे अप्रत्याशित बंद होने की समस्या नहीं होती, एवं रखरखाव भी आसान हो जाता है।
इसे समस्यामुक्त रखने हेतु आवश्यक बातें
ये बल्ब मानक OEM लैंप हाउसिंग में ही फिट होते हैं। ऑर्डर देने से पहले कनेक्टर का प्रकार, लैंप की लंबाई एवं वोल्टेज जरूर जाँच लें। सर्वोत्तम परिणाम हेतु, रिफ्लेक्टर की ज्यामिति को उचित रखें, एवं लैंप एवं स्टेज के बीच की दूरी को निर्धारित सीमा के भीतर रखें। क्वार्ट्ज को मानक क्लीनरूम मानकों के अनुसार ही संभालें – उंगलियों के निशान एवं तेल से गर्म बिंदु बन जाते हैं, जिससे आउटपुट प्रभावित होता है। निर्धारित शक्ति पर ही लैंप का उपयोग करें; इससे हर बार समान परिणाम प्राप्त होंगे।