Di fasilitas produksi ini, kita belajar untuk mengatasi berbagai masalah kecil yang muncul selama proses produksi. Perubahan suhu sebesar 0,1°C saja selama proses pemanasan dapat menyebabkan ketidakseragaman pada dimensi wafer, sehingga banyak wafer yang harus dibuang. Pemanas konvensional berusaha melawan efek inersia termal, sedangkan pengering wafer berbasis NIR tidak demikian.
Apa yang telah kami bangun, dan mengapa itu penting
Kami merancang pengering NIR ini dengan menggunakan metode pemanasan berbasis radiasi inframerah dekat. Tujuannya adalah untuk mentransfer energi secara langsung ke lapisan fotoresist, sehingga proses pemanasan berlangsung lebih cepat. Dengan cara ini, keseragaman suhu di permukaan wafer dapat dipertahankan dalam kisaran ±0,1°C, sehingga variasi antar wafer tetap berada dalam batas kontrol proses yang ditentukan. Pengering ini dapat beroperasi di ruang bersih kelas 1–100, tanpa menghasilkan partikel apa pun, sesuai hasil pemantauan secara real-time. Pengering ini dirancang untuk beroperasi 24/7, tanpa adanya waktu henti yang tidak terduga, dan umurnya bisa mencapai puluhan ribu siklus.
Mengapa hal ini cocok untuk proses litografi
Dalam proses litografi, proses pemanasan bertujuan untuk menstabilkan viskositas fotoresist, mengeluarkan pelarutnya, serta membentuk profil dinding samping wafer. Dengan pengering NIR ini, suhu di permukaan wafer dapat dipertahankan secara stabil, bukan hanya di permukaan pelat pemanas. Dengan demikian, kondisi termal tetap konsisten dari lot pertama hingga lot kelima puluh.
Proses pemanasan menjadi lebih singkat, konsumsi energi berkurang, dan jumlah wafer yang gagal akibat ketidakteraturan suhu pun berkurang. Hal ini memungkinkan integrasi pengering ini ke dalam sistem produksi yang sudah ada.
Hal-hal yang perlu dipertimbangkan
Penggunaan pengering NIR membutuhkan pandangan langsung ke arah wafer, serta jalur reflektif yang terkontrol. Bahan penyangga atau alat penopang yang tidak standar dapat menghalangi pandangan ke arah wafer. Oleh karena itu, diperlukan alat khusus yang dirancang khusus untuk penggunaan ini, dan alat tersebut harus disesuaikan dengan tata letak jalur produksi yang ada.
Setelah disesuaikan dengan benar, pengering ini akan memberikan kinerja yang konsisten, dengan pemeliharaan yang minimal. Namun, toleransi pengaturannya lebih ketat dibandingkan sistem berbasis kontak.