Pada garis produksi berukuran 300 mm, penyimpangan suhu sebesar 0,5°C selama proses pemanasan fotoresist tidak hanya terlihat pada grafik...

On the fab floor, perubahan suhu bake sebesar setengah derajat bukanlah selisih kecil. Itu berarti wafer hilang, ketebalan photoresist yang...