와이퍼가 가열될 때까지 기다리는 데 시간을 낭비하지 마세요. 반도체 공장에서 일해본 사람이라면 ‘기다림’이 얼마나 짜증나는 일인지 잘 알고 있을 것입니다. 심층 처리 과정에서 가장 큰 문제는 과정 자체가 아니라, 가열 및 냉각 과정입니다. 전통적인 강제 공기 순환 방...

불안정한 환경에서 IR 램프를 사용할 때의 걱정은 그만두세요. 솔직히 말해서, 화학적 세척이 이루어지는 곳에 적외선 램프를 사용하는 것은 매우 위험한 일입니다. 가연성 용매나 폭발성 기체가 있는 곳에서는 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 작은 스파크나 램프의 손상만으...

히터가 수소 센서를 망치는 것을 막으세요. 만약 클래스 100급 청정실에서 작업해본 적이 있다면, 그곳의 환경이 어떤지 잘 알 것입니다. 그곳에서는 보이지 않는 오염 요소들과 끊임없이 싸워야 합니다. 진짜 문제는 바로 가스 방출입니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은...

팹 내 탄소 배출량 줄이기: 왜 적외선 가열이 효과적인가? 반도체 제조 공장을 탄소 중립 상태로 만들고 싶다면, 더 이상 기존의 저항식 가열기에 의존해서는 안 됩니다. 그러한 가열기들은 너무 많은 에너지를 낭비합니다. 우리는 최근 웨이퍼 처리 장비에 적외선 가열기를...

금 코팅된 반사형 히터를 활용한 MEMS 웨이퍼 건조 과정에서의 전력 효율 극대화 이 히터를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 입력된 모든 전력이 웨이퍼에 정확하게 전달되도록 하는 것입니다. MEMS 제조 과정에서 건조란 단순히 열을 가하는 것이 아니라, 정확하고 일...