포토레지스트용 최고의 적외선 램프
리소그래피 공정에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’ 단계를 통해 포토레지스트의 특성을 확립합니다. 온도가 단 2도만 벗어나도 CD의 품질에 문제가 생기고 불순물이 발생할 수 있습니다. 따라서 열원의 온도는 포토레지스트의 특성에 맞게 조절되어야 합니다. 너무 높거...
고정밀 온도 제어형 포토레지스트 가열기
리소그래피 공정에서 ‘베이킹 단계’는 일시적인 정지가 아니라, 허용 오차의 한계를 결정하는 중요한 과정입니다. 포토레지스트의 성능은 온도에 의해 결정되며, 단 몇 십 분의 1도의 온도 변화만으로도 선의 굵기에 오차가 생길 수 있습니다. 이러한 오차는 전기 테스트를 해...